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Typ Diplomprojekt
Jahr 2012
Fachbereich Mechatronik
Abteilung Mechatronik
Projektleiter Mathias Moser
Projektteam Matthias Lanner, Philipp Mangeng
Klasse 5b HMeA
BetreuerIn Prof. Dipl.-Ing. Walter Hueter, Prof. Dipl.-Päd. Ing. Christian Walder

 

Projektbeschreibung


wafer

Es soll ein Konzept für eine automatische Vorder- und Rückseitenerkennung von Wafern erstellt werden. Durch die Anlage sollen falsch orientierte Wafer erkannt werden, damit eine richtige Weiterverarbeitung bei den anschließenden Prozessschritten gewährleistet ist. Die Anlage soll in der Lage sein, verschiedene Wafer-Technologien handhaben zu können. Bei falscher Lage, soll eine Meldung an den Operator ausgegeben werden. Die Anlage muss 8“ Wafer verarbeiten können.