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Typ Diplomarbeit
Jahr 2009
Fachbereich Automatisierungstechnik
Projektteam Marco Maier, Christian Winkler
Klasse 4HMeA
BetreuerIn Dipl.-Ing. Hueter Walter, Senfter Helmut
Abteilung Maschineningenieurwesen

Projektbeschreibung


Es sollen zwei Konzepte für die Automatisierung des Belade- und Entladevorgangs einer vorhandenen PN-Etch Bank erstellt werden. Das 1. Konzept ist eine vollintegrierte Anlage und das 2. Konzept ist eine externe, unabhängig von der PN-Etch Bank funktionierende Anlage. Es müssen 2 unabhängige Ätzbecken mit je 12 Wafern bestückt werden. Außerdem muss gespeichert werden, welche Wafer sich während des Prozesses in welcher Halterung befunden haben. Beide Anlagen müssen 6“ Wafer handhaben und adaptierbar auf 8“ Siliziumscheiben sein.